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      多晶硅還原爐操作會發生什么危險?

      發布時間:2013-8-27 10:07:47 來源: 作者: 鎮江市旺盛合金材料有限公司

      新型多晶硅還原爐主要由底盤、含夾套冷卻水的鐘罩式雙層爐體、電極、視鏡孔、混和氣進氣管、混和氣尾氣出氣管、爐體冷卻水進水管、爐體冷卻水出水管、底盤冷卻水進水管、底盤冷卻水出水管、電極冷卻水進水管、電極冷卻水出水管及其他附屬部件組成,爐體主體采用不銹鋼材質,以減少設備材質對產品的污染,混和氣進氣管分為數個噴口均勻的設置在底盤上,在還原爐底盤上分三個圓周均勻布置十八對電極,最外一周布置九對電極,最內一周布置三對電極,中間一周布置六對電極,以上設計使得還原爐內部結構布局合理,單臺爐每批次產量與現有還原爐比較有大幅度提升,多晶硅的綜合生產成本與能耗也相應降低。

      一般的,市面上用的是二十四根的尋種還原爐,分為三個A\B\C三相電極。多晶硅還原爐操作會發生什么危險?氫氣可能泄露,引起爆炸;夾套或冷卻水供應不上燒壞爐子;電極與視鏡是整個還原爐最脆弱的地方,一定要保證冷卻水;停爐時要做好降溫與置換工作,尤其是對視鏡等檢修時要確保里面的氫氣置換完全,否則易發生事故。還原爐里面用的是純的氫氣及三氯氫硅,1100°條件左右進行反應,生成的硅沉積于硅棒表面,慢慢生長,一般要七十二小時以上不間斷地供料供電。爐壁式夾層用循環水進行冷卻。除非是爐子里面溫度1300°以上時,硅棒有可能融,但是硅液溢流的情況下可能會爆炸。溫度過高,壓力不要太大;爐壁的水千萬不可以漏在爐子里面,不然是會有危險的。


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